二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT-L #293651622 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT-L是一种高度通用的溷合工具（HT）设备解决方桉,可为用户提供出色的硬件和精密软件的独特组合。该系统可用于包括物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）在内的各种半导体外延过程。凭借其先进的设计,AIX 2400 G3 CT-L旨在提高可靠性和提高生产效率。AIX 2400 G3 HT-L是针对所有III-V-Semiconductor、Silicon的和复合半导体材料以及Silicon的经过时间测试的宇宙。其高均匀性和增强的吞吐量性能使其非常适合当今的半导体外延要求。该装置还以高沉积速率支持沉积，并重复提升和更换基片晶片。AIXTRON AIX 2400 G3 HT-L配备了先进的基于AI的控制机器，用户可以设置各种可重复和可编程的序列来控制过程参数。以及在连续模式和步进模式下操作的能力。这种溷合型处理多种材料，如III-V半导体、Silicon Germanium和复合半导体材料以及Silicon。AIX 2400 G3 HT-L包括一个独特的多源持有者,允许最多6个源,这些源可以按精确、逐步的顺序进行控制。这进一步加快了设备的生产时间,提高了晶圆级的均匀性。该工具的版本还提供了一个集成的快速热处理（RTP）单元，用于半导体材料的快速热退火。此外，AIXTRON AIX 2400 G3 HT-L支持最先进的内联和异地计量。现场计量探针能有效地确定薄膜沉积质量、厚度、结晶度和表面粗糙度。这样可以实现较高的过程控制、一致性和更高的吞吐量性能。AIX 2400 G3 HT-L是生产先进半导体器件的最佳选择，是现有系统的绝佳替代品。它提供可靠、快速的操作、高效的过程控制和卓越的过程质量。