二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #293725009 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT是一种CVD反应器，设计用于高k介电、半导体和Ultra-thin薄膜的沉积。AIXTRON AIX 2400 G3/HT具有可提供宽广温度范围和低热质量环境的工艺室,可实现快速提升时间和高通量。它具有较大的沉积面积，可容纳多达30种标准基质，最大200毫米。它具有高功率射频发电机，可提供高达15kW的射频功率和高达100毫升Torr（mTorr）的压力。它有一个高端温度控制器，可以精确控制高达800°C的温度。它还具有自动掺杂剂浓度监测器。AIX 2400 G3HT采用了专利的内衬流式反应器设计，提供了优越的工艺均匀性、优异的沉积速率、降低的颗粒生成和提高的底物均匀性。流动反应堆从反应堆顶部提供稳定的反应性气体源。源气体通过衬里送入，并在溷合室中溷合，以消除硫污染，提供更好的材料剂量控制。AIX 2400 G3/HT的内饰配备了高阻热铝元件和特殊绝缘。该工艺室由耐用的不锈钢制成，以确保使用寿命长。AIXTRON AIX 2400 G3HT具有先进的SPC和过程控制功能,为用户提供了一个简单快速的优化过程。在端点监控模式下，AIXTRON AIX 2400 G3/HT可以使用离线光谱测试仪执行自动监控过程。最后,AIX 2400 G3 HT符合SEMI E84和RoHS标准。它具有强大的设计功能组合,可提供业界领先的材料工艺性能、一致性和可重复性。