二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HTL #9300885 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HTL是先进的有机金属化学气相沉积（OMCVD）反应器设备，用于先进材料的高通量沉积。由于其低消耗的设计和最小的停机时间要求,它被设计用于高可靠性和低维护。反应堆由几个部件组成，包括一个开放式室反应堆、一个热壁石英反应堆、一个6向定心装置和一个计算机控制的材料引进系统。此外,AIX 2400 G3 HTL还包括电源、安全系统和高真空系统。AIXTRON AIX 2400 G3 HTL内的开室反应器设计为以200-1000 mL的容器容量运行，由不锈钢构成，具有优异的耐腐蚀性和长期耐用性。该反应器还利用热壁石英技术，旨在提高沉积层生产的质量和均匀性。六向定心装置可以方便地定位和设置，用于精确的晶圆位置控制。此功能可提高总体生产效率,提高生产过程的一致性和可重复性。除了开室反应堆外，AIX 2400 G3 HTL还配备了材料引进装置。这台机器的设计是为了安全地向腔室供应原料.材料引进工具设计有加热的石英熔炉以及流量控制器和热电偶，可以精确控制流量、温度和压力。计算机控制的材料介绍资产在整个沉积过程中提供了高精度，减少了出错的机会。AIXTRON AIX 2400 G3 HTL还包括电源和一系列附加的安全系统，包括集成气体预警模型、惰性气体净化以尽量减少氧化、紧急关机和排气程序、实时低级质量保证反馈以及多种流程监控工具。该反应堆还配备了一个高真空设备，利用涡轮增压泵，能够达到低至0.001毫巴的速度，以提高生产精度。综上所述，AIX 2400 G3 HTL是为先进材料高通量沉积而设计的最先进的OMCVD反应器。反应堆包含几个部件，包括一个开放式室反应堆、一个热壁石英反应堆、一个6向定心装置、一个计算机控制的材料引进系统、一个电源、一个安全系统阵列和一个高真空单元。这种反应器提供高精度的沉积生产和最小的停机时间，同时它的不锈钢腔室结构确保了极好的耐腐蚀性和耐用性。