二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HTL #9377347 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HTL是行业领先的高温金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器。反应堆具有两区配置、高温运行和先进反应堆监测系统（ARMS）。它在高达1000 °C的温度下提供高品质材料的快速增长速度。反应堆设有8个独立运行的工艺区，材料或多区沉积能力更高。它采用自动化压力和供气技术提供先进的温度和增长率控制。该单元还配备了附着的淋浴头，以保持整个基板表面的均匀生长。利用专利HTL传热系统和具有先进温度控制和主动冲洗系统的石英管炉，精确控制各工艺区的温度，保持温度稳定和均匀性。此外，该装置还配有一个气柜和一个独立的电源，以确保向8个加工区中的每一个提供适当的气体。ARMS是一个提供按需增长率数据的综合控制、监测和记录装置。该软件可通过预先编程的警报设置实时运行,以防发生任何异常的进程行为。此外,它还提供了最高程度的工艺控制和精度,为8个工艺区域中的每一个设置内部压力参数。AIX 2400 G3 HTL是一种功能强大、用途广泛且可靠的反应堆,适用于要求苛刻的应用。适用于研究和生产应用，提供卓越的性能。利用先进的过程控制系统优化增长率和产量，也是高效的。本产品是任何需要高温沉积能力的应用的绝佳选择。