二手 AIXTRON AIX 2600 G3 #9393354 待售

AIXTRON AIX 2600 G3是用于研发活动的高性能外延反应堆。它是一种多用途的设备，能够处理多种材料和工艺，如高温退火、原位硅化和薄层沉积。该系统的设计满足了基板尺寸、温度控制和可重复性的共同要求，而这些要求往往是实现目标设备性能所必需的。AIXTRON AIX 2600G3能够在低压（<10 mbar）和低温（<250 °C）操作，以及高压（>10 mbar）和高温（>1000 °C）操作中运行，从而实现可靠的过程控制和优化。先进的温流控制装置保证了未损坏基层的均匀外延，机器提供了高精度定位，最大限度地提高了材料利用率和吞吐量。AIX 2600 G3包括功能强大的触摸屏控制器，提供直观的用户界面以及对压力、温度和流量等过程参数的实时监控。这样可以确保用户完全控制流程,并可以实时监控结果。该设备还配备了广泛的安全功能，如过温互锁和反热区传感器，以确保人员和材料的安全。AIX 2600G3的设计重点是长期可靠性和性能、低维护成本和高水平的过程控制。它是一种多功能、高性能的工具，非常适合用于研究和开发基于底物的外延工艺，如薄膜沉积、退火和掺杂工艺。也适用于空化、电子束、离子注入过程等先进应用。