二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9123393 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 HT是为GaAs、InP和GaN等复合半导体的沉积和加工而设计的最先进的生产反应堆。这种设备可以使这些材料以高生长速率和优异的层均匀性沉积。该系统的反应堆配置专门设计用于单批执行高达800毫米晶片的大型运行。AIXTRON AIX 2800G4-HT利用水平石英气体分布板，将反应气体均匀地分布在整个基板上，以提高均匀性。高度灵活的负载锁装置提供了无与伦比的便利，并且允许在负载室和加工室之间运输，而不会破坏真空。AIX 2800G4 HT具有加热淋浴头和8级可控温度分布，可优化沉积性能和层质量。为了提高均匀性，反应堆配备了快速移动的敏感器，以提供层均匀性和最佳的床均匀性。其他特点包括集成压力控制机，它允许对广泛的基板和工艺条件进行精确的气体控制。负载锁还配备了紫外线吹扫灯，保证进入反应室前的高清洁水平。AIX 2800G4-HT还集成了智能配方软件，通过自动流程优化功能优化工具性能。此外，AIXTRON AIX 2800G4 HT设计用于安全操作，具有防止反应气体逸出到工作环境中的安全密封室。该资产还利用闭环再循环模型来减少剧毒反应气体的使用。它符合或超过所有适用的安全标准，让用户在操作设备时安心。综上所述，AIX 2800 G4 HT是为复合半导体的沉积和加工而设计的强大、高度精确的生产反应堆。它提供了快速、均匀的沉积，集成的压力控制和紫外线清洗灯，以提供卓越的层质量和清洁度。AIXTRON AIX 2800 G4 HT具有优化的设计和集成的安全特性,是半导体行业用户的宝贵工具。