二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9222201 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 HT是一种用于生产复合半导体材料的高通量（HT）反应堆。它是一种用于材料研发、工艺优化和多材料装置制造的外延生长工具。AIXTRON AIX 2800G4-HT是一种双晶圆水平设备，温度范围高达800°C，自动反应气体控制。AIX 2800G4 HT具有高级高通量处理功能,允许一批处理多达200个晶圆。它具有多种分子束外延（MBE）过程，包括化学束外延（CBE）和分子层沉积（MLD）。此外,AIXTRON AIX 2800G4 HT可以适应物理气相沉积（PVD）过程,如原子层沉积（ALD）和自旋沉积（SOD）。这种灵活性使AIX 2800 G4 HT成为复杂过程和应用（如异构制造）的理想选择。AIX 2800 G4 HT具有自动化的多区加热功能,可在整个晶圆表面实现精确而均匀的处理温度。该系统还提供自动化的原位气体分析能力，以进行工艺优化。它可以监测氮化和氧化过程、氮氧化物沉积以及金属和有机物的沉积。AIX 2800G4-HT能够以高精度和分辨率测量反应气体。AIXTRON AIX 2800 G 4 HT的机箱具有先进的安全性和安全性,包括集成的氦气泄漏检测器和安全关闭开关。它还配备了一个自动化流程和记录单元，记录流程运行中的所有信息，包括气体使用和温度。此外，该机器还提供了广泛的软件工具，用于开发和优化过程和材料。AIXTRON AIX 2800 G4 HT是一款功能强大、灵活的复合半导体加工工具，能够进行多种生长过程。其先进的工艺能力、自动化的气体控制和原位气体分析使其成为设备制造、材料研究和工艺优化的理想工具。