二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9226650 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 HT是一种商用沉积反应堆，设计用于半导体和微电子工业的材料生产。AIXTRON AIX 2800G4-HT是一种高温沉积反应器，这意味着它能够在高达1000 °C的温度下运行。AIX 2800G4 HT具有先进的设计,可以精确控制沉积过程。材料生长发生在二维矩形反应堆腔内。该室配有四个单独的沉积过程源。AIXTRON AIX 2800G4 HT实现了广泛的沉积技术，包括化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）和分子束外延（MBE）。在性能参数方面，AIX 2800 G4 HT提供了高水平的准确性和可重复性。它配备了先进的控制系统，辐射范围广，沉积速率均匀。最大基板尺寸为95毫米。腔室设计的径向和轴向均匀度为+/-3%。反应器中的压力可以调整以达到一致的沉积速率。AIX 2800 G4 HT具有多种安全功能,包括消除高温暴露的安全快门,以及在发生任何严重问题时的紧急关闭系统。该系统还设计有充足的通风和过滤，以确保组件的最佳运行。AIX 2800G4-HT在电子工业中有广泛的应用。其中包括生产薄膜晶体管、电化学电容器、场效应晶体管、集成电路和平板显示器等。AIXTRON AIX 2800 G4HT是一种高效可靠的工业制造应用沉积反应器。