二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9248637 待售

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製造商
AIXTRON
模型
AIX 2800 G4 HT
ID: 9248637
晶圆大小: 4"
优质的: 2011
MOCVD Systems, 4" GaN Based LED In-situ monitoring: EpiCurve TT Strain management for large diameter substrates 42x2" Configuration: 400 mbar Growth for bulk GaN 11x4" Configuration: Wafer bowing effect In-situ metrology: EpiCurve TT analysis 6x6" Configuration: Wafer bowing effect In-situ metrology: EpiCurve TT analysis Strain relaxation layer 2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4 HT是一种高通量的化学气相沉积反应器(CVD)。对于寻找高效、精确的CVD设备的研究人员来说,这是一个吸引人的选择。该反应堆设计简单易用,并配有基本的安全特性,安全运行。它还具有氧化铝蚀刻敏感器、参数远程监控和适合连续运行的自动负载锁定系统。AIXTRON AIX 2800G4-HT设计用于生产各种基材。其操作面积较大,为12 "x 12",适合大型生产运行。该单元还包含一个陶瓷底部和一个独立的温度设置每个敏感。这允许更高的沉积速率,更好地控制膜的制备,以及均匀的材料分布。反应堆进一步配备了快速移动的晶圆转换机,用于工件的频繁装载和固结。转移过程是在环境中进行的,旨在实现无尘。这样可以提高沉积质量和确定对工艺条件的控制。此外,AIX 2800G4 HT包含一个高效的气体输送工具,配有各种气泡瓶和流量控制器选项,便于安全处理反应性气体材料。AIX 2800G4-HT是一个强大而精确的CVD反应堆。其绝缘室和坚固的结构提供了一个极好的温度控制。自动化的负载锁定资产允许快速和连续的操作,其210-220V的多种供电选项使其适合多种用途的应用程序。它具有良好的温度均匀性和高效的气体输送模式等技术特点,是快速准确生产薄膜和纳米结构的理想选择。
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