二手 AIXTRON AIX 2800 G4 HT #9256418 待售
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ID: 9256418
优质的: 2011
MOCVD System
Capacity: 42x2", 11x4", 6x6"
Wiring: 4-Wire with Ground
Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4
MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2
MFC: Horiba
Temperature monitor: EPI TT
Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase
2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G4HT是一种主要用于半导体外延领域的前沿反应堆设备。该系统能够实现大面积的增长,从而能够生产功能尺寸较小的全芯片CMOS和光电设备。AIXTRON AIX 2800G4-HT是一种水平高通量淋浴堆，具有三区设计，由一个较低的预热器、一个高温生长室和一个换热器组成。在高温生长室中，可以精确保持和控制高温低压。高通量淋浴头保证了热解管的均匀气体流速和良好的气体均匀性，其设计目的是减少室内污染，并比传统系统产生更少的颗粒。AIX 2800G4 HT配备了可靠的过程控制和监控系统，用于精确的层厚度控制和提供与层组成有关的参数的详细反馈。其原位分析系统提供晶格结构和生长过程中层组成的实时信息。AIX 2800 G4HT提供了一系列控制基板的选项，包括用于均匀沉积的淋浴头、温度范围高达1100摄氏度的静态基板支架、两级平台升降机以及自动基板交换机构。为了获得最高效率,基板滑块配备了RTP（快速热处理）选项,温度范围可达1045摄氏度。AIXTRON AIX 2800G4 HT是一种功能强大且可靠的设备,非常适合生产应用。这台机器能够生产各种材料，质量和可重复性都很好，是大容量半导体制造工艺的理想选择。利用用户友好的控制工具,用户可以轻松调整和监控其增长运行的参数,以获得最佳结果。AIXTRON AIX 2800 G 4 HT为可靠操作配备了广泛的安全功能，如互锁、报警器和内置的安全基板支架。
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