二手 AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT #9135752 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT反应堆是一种用于先进外延和增长应用的高性能、可靠的反应堆。它旨在提供从过程开始到完成的高级控制、精度和准确性。凭借这一模式，AIXTRON凭借高产可靠的优质材料生产，确立了自己在该领域的领先地位。AIX 2800 G4 ICHT反应堆是一种多区设备，提供精确的温度控制和广泛的过程条件，具有高度的重复性。此型号提供193个处理室,允许更大的机柜和更快的加载时间。此外，它还有一个集成的流程控制和数据采集系统，可以实时监测所有流程参数。该单元还支持高级晶圆处理、计量和晶圆卸载功能。多用途反应堆设计使金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术得以使用，在整个基板表面提供了出色的均匀性和阶梯覆盖率。此模型还提供平面化技术,允许无需任何额外处理即可生成复杂的设备体系结构。内置湍流板，晶体生长是一致和均匀的-甚至跨越大晶片。AIXTRON AIX 2800 G4 ICHT反应堆采用高精度旋转传动和碳酸盐岩工艺室设计，提供惰性、稳定的工艺环境。该模型还具有EQCU（外延石英晶体）功能,可提供低压过程控制,从而创造经济高效且可靠的过程环境。反应堆在闭环稳定机器上运行，提供最高水平的过程控制和精度。总体而言，AIX 2800 G4 ICHT反应堆是一种先进的工具，在外延和增长应用中提供无与伦比的性能和产量。它提供193个处理室和集成的控制和数据采集资产,提供精确的温度控制、广泛的工艺条件以及均匀的晶体生长。利用先进的旋转驱动和碳酸盐岩工艺室，该模型提供了一个惰性、稳定的工艺环境，可实现准确、经济高效的增长。