二手 AIXTRON AIX 2800 G4 TM #9381792 待售

AIXTRON AIX 2800 G4 TM是为生产复合半导体材料而设计的先进反应堆。这台高端机器被用于研究开发用于生产氮化氙（GaN）及相关材料的创新工艺，是全球领先的磷化超（InP）应用平台。AIX 2800 G4 TM的模块化设计包括四个独立的流程模块。这些是基板预处理模块、巡洋舰高流量III模块、工件加热模块和涂层可调同心性和均匀性（CAU）模块。基板预处理模块可提供高达600°C的均匀基板加热,并允许对基板进行预退火,以确保最佳成膜。Cruiser High-Flow III模块可实现高均匀性和快速处理能力。该模块设计用于精确管理和传输晶圆。Coater的可调同心性和均匀性模块可确保在多个工艺步骤中精确调节薄膜厚度。该模块能够在高气体流量下进行可靠、可重复的薄膜涂层。AIX 2800 G4具有许多过程控制功能,例如实时用户界面,有助于优化沉积过程。它还提供温度和压力控制以及过程的自动化。AIX 2800 G4配备了安全特性，包括短路保护和超温控制，使其成为市场上最安全的反应堆之一。AIX 2800 G4旨在为複杂材料的生产提供精密和可重複性的稳定性和可靠性。它针对多种工艺进行了优化，从生产III-V化合物材料到低温金属有机化学气相沉积（MOCVD）。AIX 2800 G4提供灵活的基板配置和一系列功能,以及领先的技术和功能升级,是满足工业生产需求的理想之选。