二手 AIXTRON AIX 2800 G4 #9248919 待售

AIXTRON AIX 2800 G4是为生产具有先进半导体加工能力的III-V半导体材料而设计的外延反应堆。它是一种单一的晶片设备，提供均匀、低温的掺杂型材，提高了工艺产率。AIXTRON AIX2800G4具有四晶片容量,具有高温氧化锡涂层感受器,可在基于MOCVD和OMVPE的过程中有效控制温度。该反应堆采用具有平衡压力系统的高性能、低维护石英室，用于长期稳定和工艺参数的精确控制。该装置能够精确、可重复和精确的过程控制参数，从而实现可重现的结果、异常的温度均匀性和精确的掺杂轮廓。此外，AIX 2800G4还配备了可编程的多区温度控制器，可精确控制工艺室温度分布。这样可以精确优化工艺参数以获得最佳结果。该机还配备了石英对流增强排气工具，用于增强MOCVD和OMVPE工艺控制和性能。AIX 2800 G 4配备了全面的用户友好工艺软件包，用于III-V材料的整体集成。资产包括方便晶片掩模加载的喷嘴和运输模块，便于监控的基于AIXTRON GUI的可视化过程控制软件，以及实时温度和压力剖面。该模型还为安全和环境安全标准而设计，因为它配备了A级过滤器和疏散设备以及排气系统，以便从工艺室内清除有害物质。此外，AIX2800G4设计用于在恶劣的实验室环境中可靠地运行，其紧凑程度足以适应标准实验室或办公室环境。总体而言，AIXTRON AIX 2800G4是一种先进的反应堆，旨在提供过程稳定性、可靠性能和最高安全性的可重复性，使其成为工业和研究应用的理想工具。