二手 AIXTRON AIX 2800 G4 #9286299 待售

AIXTRON AIX 2800 G4是制造先进半导体结构的最先进、紧密耦合、强制流动、液体反应室。这一设备的主要特点包括一个前开式锁载室、自动源室快门操作、遥控源定向和第三代LPCVD工艺室。AIXTRON AIX2800G4旨在提供卓越的薄膜性能和优异的材料吞吐量,使该系统非常适合广泛的亚微米应用,包括高级光刻、MEMS、光电、Power-MOS和CMOS结构。该装置提供了每小时80晶圆的有效加载速率和集成的无功流动机，提供了高度一致的结果。它以高架地板工具为基础，可进入各种灵活的机器人和房间。AIX 2800G4可以执行四步源蒙太奇序列与源臂设计执行精确源定向和温度稳定。该资产还提供高级温度控制功能,以提高整个工艺距离的均匀性。LPCVD工艺室装有射频加热和氢气及加工气体，使各种材料得以高效沉积。高精度的厚度控制具有极好的重复性和沉积互连层结构的能力。AIX 2800 G4是当今市场上最先进的半导体结构反应堆之一。它具有先进的自动化、高吞吐量和可靠的现场监控功能,使用户能够生产高质量、先进的半导体器件。该模型还易于维护,使其能够在停机时间最短的情况下使用多年。该反应堆非常适合研究实验室、半导体制造商和寻求生产先进半导体器件的大学。