二手 AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9222508 待售

AIXTRON AIX 2800 G5 HT是一种高通量、大容量的金属有机气相外延（MOVPE）反应器。它是为III-V化合物半导体材料的生长和成核而设计的，如砷化氙和砷化氙，用于生产LED和太阳能电池等光电器件的元件。AIXTRON AIX 2800G5 HT是结合了先进反应堆设计、功能丰富的硬件和本机控制软件的统一设备，提供卓越的性能，同时需要较低的维护成本。它有一个环形反应堆腔室，在大面积晶片上促进均匀的材料生长和均匀的层质量。可以独立控制五个单独的前体和掺杂物来源，以优化生长参数，而内置加热器、供气系统和压力调节器则允许精确调整流量。该系统还包括电源、排气鼓风机和冷却装置。AIX 2800 G5 HT提供了一种先进的加热机器，旨在在旋转室内部建立一个均匀的温度分布。它以可调节的斜坡速率提供非常精确的温度调节，确保即使是大晶片也有完全均匀的温度。其工艺控制保证了复杂的多异质结外延结构的高质量外延层，窄层公差小于2纳米。AIX 2800G5 HT还提供了一系列增强工具性能的附加功能。其精密对准资产便于晶圆以精确角度安装在石英或石墨敏感器上，从而产生顶层均匀性。该模型还具有先进的校准软件，允许对样品板进行精确和可重复的定位。为了保持设备内部的清洁，其高效过滤系统确保前体和掺杂剂在引入反应堆之前是干净的。此外，气体动态快门有助于减少泄漏的前体气体或副产品造成的污染。总体而言，AIXTRON AIX 2800 G5 HT是一种先进的高速MOVPE反应堆，非常适合生产高容量的III-V复合半导体元件。它提供卓越的工艺和层级控制,具有出色的均匀性、稳定性和可重复性,所有这些都是在直观和集成的单元中进行的。