二手 AIXTRON AIX 2800 G5 HT #9384948 待售
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已售出
ID: 9384948
晶圆大小: 2"-6"
优质的: 2011
MOCVD System, 2"-6"
GaN
Main pump: EBARA ESA80W-HDF
(2) Scroll pumps
RF Generator
Hydried line: NH3-1, NH3-2, SiH4
Chamber: 56x2''/ 8x6''
Temperature monitors:
Photrix LWL Luxtron
EpiTT x G5 x 405 nm
MO Sources:
TMGa-1
TMGa-2
TMAl-1
Cp2Mg-1
Cp2Mg-2
TMIn-1
TMIn-2
TEG-1
TEG-2
Power supply: 400/230 VAC, 3-Phase, 4-Wires+ground
2011 vintage.
AIXTRON AIX 2800 G5 HT是一种生产规模的商用沉积设备,设计用于制造高质量的线栅偏振器(WGP)和其他基于薄膜的光学元件。它是一种高温溷合工具,能够在高达1000°C的温度下对III-V材料进行化学气相沉积,并直接写入金属、氧化物、颜料和介电层的电子束蒸发。AIXTRON AIX 2800G5 HT包括高性能的三级吹扫系统、快速直流电源和高达四个主轴的高精度沉积头。该装置配有AIXTRON专有的刻面刀片支架,设计用于WGP的多角度沉积,以及成品的沉积后蚀刻和表面抛光。该机器还具有全自动、极其精确的机械臂,用于物料的装载、卸载和基材到基材的转移。AIX 2800 G5 HT结合了小巧、高通量的设计和先进的控制单元。其用户界面极其人性化,允许直观引导的设置和快速的基板批处理。该工具包括集成的数据收集和分析套件,以及用于手动或全自动配方管理的尖端自动电源控制。其功能强大的诊断模块支持对关键参数进行完整的现场监控以及即时缺陷检测和纠正。全自动过程交付系统可确保精确、可重复的薄膜沉积过程,以及跨不同材料和应用特定过程条件的快速调整和开发。这种高温、精确、强大的沉积资产使AIX 2800G5 HT成为许多超高精度光学薄膜涂层应用(如WGP)以及许多其他薄膜密集型应用的完美工具。其卓越的制造能力和精确的材料操作能力使用户能够制造当今市场上一些最精确、光学精确的元件,这使得这种模型对于需要最优质产品的薄膜生产商来说是必不可少的。
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