二手 AIXTRON AIX G5 HT #293594749 待售

AIXTRON AIX G5 HT是一种高通量反应堆，设计用于提高生产复合半导体材料的产能。该反应堆以热壁CVD的先进技术为基础，允许为复合半导体应用高质量、高产的外延层生产。该设备提供了几种独特的功能,例如可编程气体成分设置、每种气体的独立流量控制以及用于定制工艺条件的可编程区域温度。反应堆设有基板加热用加热卡盘、工艺区内的热墙和垂直加炉机构，为复合半导体层的可重复可靠生产提供了理想的平台。该反应堆的设计是专门生产AlGaAs、AlInAs和InGaAs等材料，这些材料需要复杂的工艺配方，并对气体成分、气体流量和温度进行精细调整。AIXTRON AIX G5HT反应器能够在热壁上提供均匀的基板温度，有助于控制工艺参数，确保工艺结果的可重复性。此外，该工具还配备了模块化扫描系统和先进的晶圆识别单元，可实现晶圆自动识别，从而在加工配方之间切换时节省了大量时间。AIX G5 HT在其加工区域内提供出色的温度控制,其区域可调整到0.1°C以内。该机器还提供了对多达四种气体的高精度控制，为生产精细化合物提供了经过微调的工艺条件。AIX G5 HT也可用于液相外延，允许进一步调整工艺条件，以满足特定化合物半导体的需要。AIXTRON AIX G5 HT专为大批量应用而设计，适合工业量产的需要。AIXTRON AIX G5 HT具有高性能的气体控制、均匀的温度分布和工艺自动化特点，是大型复合半导体生产的首选工具。