二手 AIXTRON AIX G5 HT #9283176 待售

AIXTRON AIX G5 HT是一种高通量MOCVD工具，用于生产III-V和基于Silicon的产品。该反应堆具有一个包罗万象的MOCVD工艺室，其基材尺寸范围从1.3"到8"不等。它利用广泛的III-V源材料和/或硅前体源，使许多独特的光电和半导体器件结构得以增长。AIXTRON AIX G5 HT包括动态压力控制、激光工艺监控系统、射频/加热室轮廓控制以及自动晶圆定位和交换系统等MOCVD技术的许多AIXTRON最新进展。这确保了晶片与晶片的最高均匀性、提高的产品产量和全面的过程控制。AIX G5 HT反应堆还采用垂直磁化器设计,以提高精度和生产率。这种垂直设计可以更好地控制晶圆的平整度和温度均匀度。它还具有全场对准/扫描系统，能够实现精确和可重复的晶圆位置控制和更好的均匀性控制。AIX G5 HT旨在最大限度地提高吞吐量和降低成本,并结合了多种功能来提高流程效率。现有功能包括AIXTRON动态压力控制（DPC）、基于激光的过程监控系统、射频/加热室轮廓控制以及自动晶圆定位和交换系统。AIXTRON AIX G5 HT还为基于III-V和Silicon的产品支持广泛的基板,包括单面和双面MOCVD工艺。这样可以提高产品设计的灵活性,提高产量。AIXTRON AIX G5 HT为满足当今最先进的光电和半导体器件生产的所有质量控制和效率要求,提供了复杂的过程控制和监控功能。这些功能的范围从标准流程配方到更复杂的基于数字逻辑的流程控制算法,您可以设置自定义流程配方,以实现复杂产品设计的最大灵活性。总之，AIX G5 HT是专门为III-V和硅基产品的高通量MOCVD处理而设计的先进反应器。它结合了MOCVD技术的最新进展，以产生可重复和可靠的结果，提高产量。凭借其垂直磁化器设计、动态压力控制等众多功能,它是当今最先进的光电和半导体器件生产的理想工具。