二手 AIXTRON AIX #9409484 待售
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AIXTRON AIX是由德国主要半导体设备制造商AIXTRON SE生产的化学气相沉积（CVD）反应器。AIX反应器用于生产硅、二氧化硅和掺杂硅等薄膜半导体材料。AIXTRON AIX反应器以金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术为基础，可用于大气压力化学气相沉积（APCVD）、低压化学气相沉积（LPCVD）和高压化学气相沉积（HPD）三种CVD模式。该反应堆设计用于生产所有材料的CVD的单一来源。它采用两级工艺，第一级为反应物预热室，第二级为反应室。预热室由感应炉加热至所需工作温度。反应室由燃气红外灯加热。反应点将过程气体引入反应器。该过程由精确的控制系统管理。AIX反应器能够产生定义厚度和精确几何形状的高质量薄膜。反应器中的超清洁环境保证了极好的均匀性和可重现的光学和电气性能。薄膜可以单层或多层生长，常用于制造半导体器件如晶体管、二极管等有源和无源电子元件。AIXTRON AIX反应堆有几种型号，包括标准AIX600、AIX1200和AIX1800。每种型号都提供了更高的性能特性和扩展能力。AIX1200和AIX1800提供了更大程度的过程自动化和灵活性。反应堆还可以配备自动光学监测系统来测量正在生产的薄膜。AIX是一种可靠且用途广泛的反应堆，具有高度的控制和灵活性。以及用于制造半导体，也可用于生产其他薄膜如介电、反射和透明的光学元件层。该反应堆非常适合大批量生产，适用于洁净室环境。
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