二手 AIXTRON CCS 3X2 FT #9218419 待售
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已售出
ID: 9218419
优质的: 2012
Reactor
Process: GaAs, InP
Capacity: 3"x2", 1"x3", 1"x4"
Electrical supply with neutral and earth
Qty / Make / Part number / Description
(1) / KURT J. LESKER / QF25-100-SRV-B / -
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15279 / Nitrile O-ring OR69-6x2-4Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-10909 / Nitrile O-ring OR5-1x1-6ni70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12600 / Nitrile O-rings BS270Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15430 / Nitrile O-ring BS278Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-14436 / Nitrile O-ring OR35-5x3ni70
(4) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12593 / Nitrile O-rings BSO12N170
(20) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15346 / Nitrile O-rings OR8-6X2-4NI70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15427 / Nitrile O-ring OR57-6x2-4Ni70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-16214 / Nitrile O-ring OR129-5X3NI70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15345 / Nitrile O-rings BS154NI70
(4) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12605 / Nitrile O-rings OR19-5X3NI70
(1) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-12579 / Nitrile O-ring BS248NI70
(2) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15428 / Nitrile O-rings BS273Ni70
(3) / HOOPER LIMITED / 0-33657A-ISS3 / 9-15429 / Nitrile O-rings BS267NI70
(1) / EBARA / - / Pump fuse
(1) / - / - / ASSY Prober kit
(1) / - / - / Screw for holding clamp
(12) / - / - / Bath lids
(15) / - / - / Mesh filters
(1) / - / - / DYMAX 5 Pump
(1) / INSTRON / CL1192B / Black body
(1) / - / - / Micro vac mini tool kit
(2) / - / - / Fuses
(1) / - / - / Thermo element, type K, 800 mm Lg
Power: 400 V, 3-Phase, 50/60 Hz, 100 A, 5 Wires
2012 vintage.
AIXTRON CCS 3X2 FT是一种通用、先进的等离子体增强型化学气相沉积（PE-CVD）反应器，旨在实现各种应用的高质量薄膜。这种反应器可以在包括氧化物、氮化物、金刚石和金属在内的各种材料中产生厚度最高为100 nm的薄膜。适用于沉积速率高、纯度高、均匀性好的工艺。该反应器有一个带Viewports的3X2英尺不锈钢封装真空室，可用于实时监测沉积过程的进展。它配备了由AutoClamp系统支持的强大、高度均匀的等离子体源，减少了装卸时间。AutoClamp系统还提供精确且可重复的基板夹紧,从而最大程度地减少了颗粒的产生。PE-CVD工艺也是通过磁控管（Magnetron）或长丝阴极（Filament Cathodes）对气体溷合物施加能量来优化，以便将前体分解成反应性物质，形成材料性能增加的薄膜。CCS 3X2 FT反应器利用先进的硬件和软件直接控制沉积参数。该软件具有广泛的数据记录功能，能够保持和记录温度、压力和沉积速率，并提供卓越的实时数据分析。此外,它还符合SEMI F47-0291标准,这有助于确保最高级别的过程控制、准确性和可重复性。该反应堆的设计可实现最大正常运行时间,并具有提高生产率的若干功能：高级PLC控制,可实现广泛的过程自动化,自动过程排气,采用PID控制和自动气体关闭的温度控制,以及便于分析各种过程的车载诊断工具。它是小批量薄膜沉积的理想解决方桉，具有较高的工艺控制水平和可靠性。其其他优点包括：沉积速率和循环时间快，能耗低，微粒产生最小，均匀性好，可变性和可定制性好，易于维护，工艺质量无与伦比。这种灵活经济的反应器是工业薄膜沉积应用的理想选择。
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