二手 AIXTRON Crius 30x2" #293587436 待售

AIXTRON Crius 30x2是为生产多种电子器件而设计的多晶硅沉积反应器。反应堆利用先进的高频等离子体源和烧蚀源，在各种晶片上形成多晶硅膜。Crius 30x2具有30厘米x 2米的加工室,非常适合大规模生产。该工艺室由不锈钢制成，装在脉冲偏置调频电容耦合工艺室中。射频功率通过一对石墨电极施加，这些电极连接到高频电源。电源具有可调电压和频率控制级，允许不同的条件，如反应物摩尔比和底物温度。AIXTRON Crius 30x2的工艺气体供应是由硅烷和载气的溷合物组成，如氙气。硅烷在腔内蒸发，反应物解离形成多晶硅膜层。腔室的温度可以通过放置晶片的端块的加热功率来控制。此外,AIXTRON Crius 30x2具有集成的压力控制功能,能够为产品的层厚提供适当的沉积压力。薄膜的化学和结构特性可以使用光谱学和光学编码器等原位诊断进行监测。反应堆还设有一个集成的机器人臂装置，用于转移晶圆和原位监测器。AIXTRON Crius 30x2为电子设备的高质量沉积提供了可靠和一致的过程,其设计目的是在生产环境中提供卓越的性能和可靠性。其先进的设计确保了精确的过程控制和密切的监控，以确保产品质量的一致性。该反应堆为大规模生产提供了经济高效的解决方桉，适合多种生产工艺。