二手 AIXTRON Crius 31x2" #293587438 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种高端化学气相沉积（CVD）反应器，旨在满足现代半导体和材料研究最苛刻的要求。Crius 31x2具有大面积基板容量,能够容纳直径不超过200 mm的晶片和一次不超过两个基板。它还支持多种源构型，允许广泛的研究应用，包括金属有机化学气相沉积（MOCVD）沉积、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、原子层沉积（ALD）等等。Crius 31x2提供先进的大气控制设备,可提供准确的过程控制和可重复的功能。该系统支持对每个基板和源进行精确的温度、压力、气体成分和流量调整，并对最多四个源进行独立控制。双远程负载锁定设计还允许多个过程或快速交换基板。Crius 31x2还具有一系列附加功能,例如AIX软件套件,它允许即时优化流程。反应堆还提供直观的用户界面，包括高分辨率的触摸屏显示和直观的软件程序。Crius 31x2旨在确保所有流程安全、可靠且可重复。它提供强大的安全功能,包括过温保护、压力保护和ISO 14644洁净室认证。Crius 31x2采用坚固的加热和冷却装置,可快速调节温度,最大温度范围为300 °C。该机器还具有快速的响应时间和低的热能耗散，以确保整个晶片可重复、均匀的温度曲线。此外,Crius 31x2还配备了集成的等离子体控制工具,可实现优化的均匀性、可重复性和较长的处理时间。此外，Crius 31x2为有效的工艺稀释控制、多区供暖制冷以及精确的气体或载气流量测量提供了先进的模块化。模块化还包括可选的循环过程,如预热、沉积和冷却,以与标准程序流集成。总体而言，AIXTRON Crius 31x2是一种先进、可靠、可重复的CVD反应堆，提供高水平的过程控制和可重复能力。它提供了广阔的应用可能性、先进的安全功能以及可优化过程时间和可重复性的自适应控制资产。