二手 AIXTRON Crius 31x2" #293587440 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种先进的MOCVD外延生长反应堆，开发用于光电和半导体生产的广泛应用。这种反应器非常适合在各种基板上进行高性能薄膜生长，能够精确控制厚度、掺杂和结晶质量。Crius 31x2配备了独特的分裂口袋三区石英反应堆，在大面积上提供具有精确掺杂剂分布的高质量薄膜。该反应堆采用31x2英寸的面积，并采用分离式口袋设计，可独立控制两个口袋的生长温度。每个口袋装有两个大功率、快速响应的交流电阻负载，最大功率为3.2 kW，温度调谐范围为500至1,450 °C。此外，该反应堆有两个可变温度区：一个用于预热和形成基板的上层区和一个用于生长外延层的下层区。Crius 31x2包括用于控制参数的全实时控制的过程控制计算机。交流加热元件的快速响应可以精确控制温度曲线，精确控制薄膜中的掺杂物浓度。过程控制计算机配有高级软件包，用于详细的配方和数据分析。反应堆还配备了最先进的气泵配置，对气体成分进行自动控制，以保证质量最高、掺杂水平准确的薄膜。AIXTRON还提供可选的高级自动化功能,以最大程度地减少操作员干预、缩短设置时间并优化增长率。该系统还包括一个耐用、有效的晶圆处理系统，用于改进基板的装载、卸载和处理。Crius 31x2提供高质量、高度均匀的外延膜,可针对创新的设备应用进行定制。它对温度和掺杂剂浓度的精确控制保证了光电和半导体器件的卓越性能。AIXTRON Crius 31x2固有的低维护要求、较长的使用寿命和优异的性能使其成为领先设备生产的理想选择。