二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587441 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种低压金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器，旨在以低成本生产高质量的薄膜层。这种反应器被用于从复合半导体器件生产到固态照明的许多应用中。AIXTRON CRIUS 31 X 2是那些以相对实惠的成本寻求高性能的人的理想选择。Crius 31x2是一个三区垂直反应堆，单300 mm石英敏感器容量。它由Varian 6100源供电，最大晶圆尺寸为2.5英寸。反应堆还包括一个水平气体喷射器和九个气源。其运行总压力为10T，最高温度为1300 °C。CRIUS 31 X2能够产生高质量的器件层和外延结构。注入该反应器的工艺气体包括HCl、氢气、砷、膦、硅烷和氨。这些气体反应形成半导体材料的气相反应，产生电子和光学器件。AIXTRON Crius 31x2具有多种安全特性，从紧急气体关闭系统到必要时排出危险氢气的能力。此外,AIXTRON CRIUS 31 X 2还采用了防撞技术,以帮助防止在操作过程中发生任何意外碰撞,从而显着降低损坏的几率。总体而言，Crius 31x2是一个经济实惠、高性能和安全的MOCVD反应堆。它非常适合那些希望以低成本生产优质器件层和外延结构的人。CRIUS 31 X 2是从复合半导体器件生产到固态照明等应用的可靠选项。