二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587442 待售
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AIXTRON Crius 31x2是一种大面积、批量制造的金属-有机化学气相沉积(MOCVD)反应器,生产先进的电子、光学和纳米级薄膜系统。它是创建复杂、高质量的II-VI化合物层的高度通用的工具。它具有独特的高度模块化设计,具有一系列的生长室和可互换的组件部件。该设备特别适合开发和发展下一代复合半导体材料。AIXTRON CRIUS 31 X 2反应堆能够每批处理多达21个晶片,同时支持各种前体材料选项。其模块化设计使其易于配置,从而能够快速方便地更换部件。其密封的生长室消除了材料污染,实现了广泛的实验控制,提高了可靠性和优越的工艺一致性。该系统旨在提供极其精确的化学分布和温度控制,而其先进的储存装置可减少前体的蒸发损失和反应性损失。该反应堆经过专门设计,可提供工艺灵活性和原子层的优化亚微米沉积,从而能够沉积高纯度的纳米级产物。其模块化构型允许广泛的生长参数和热解配方,从而能够产生各种高度专业化的II-VI化合物。Crius 31x2还具有独特且高度先进的石英源,其设计目的是提供可重复且一致的热辐射源。该机配备了一系列安全和环境特性,包括硬件隔离和限流阀,以确保可靠的操作安全。CRIUS 31 X 2支持一系列过程优化方法,并提供数据反馈监控,从而能够严格控制沉积过程。此外,该工具还采用了一系列诊断工具,如原位椭圆偏光仪、反射仪和石英晶体微天平,以便进行高效、长期的工艺监测和优化。总体而言,AIXTRON Crius 31x2反应堆是一种先进、高度模块化和通用的工具,用于创建高质量的II-VI化合物层。其灵活可靠的设计使得它成为发展下一代光电和纳米材料技术的理想选择。
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