二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587445 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种多晶片MOVPE金属有机气相外延反应器，用于生长先进的III-V化合物半导体。该系统采用双晶片磁化器设计，具有较高的工艺重复性和均匀性。AIXTRON CRIUS 31 X 2的设计最多可容纳三个不同的分子源和两个独立的加热器组，两者都分别优化，以确保晶体生长的最大收率和均匀性。反应堆还配备了气体溷合站，可以精确控制工艺参数，并经常简化工艺设置和适应不同的材料系统。Crius 31x2可以在大气和低压生长过程中操作，在可以实现的沉积类型上提供灵活性。可以使用的温度范围从环境到1000摄氏度，可以达到每小时30微米的最高增长率。CRIUS 31 X 2是一种高度通用的MOVPE反应器，能够生产高质量的III-V复合半导体器件。使用双晶片敏感器设计最大限度地减少了掺杂剂扩散，并允许在大容量场景中重现。由于气体溷合站提供了更多的灵活性，可以轻松生产复杂的材料系统，从而使AIXTRON Crius 31x2在当今领先的III-V复合半导体结构的生产中发挥了重要作用。