二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587446 待售

AIXTRON Crius 31x2是一个三区反应堆，用于半导体薄膜和其他材料的外延生长和沉积。AIXTRON CRIUS 31 X 2是配置有三个区的水平冷壁反应堆。设备使用RF或DC电源以单一或多源配置运行。反应堆具有先进的过程控制功能，使用户能够准确控制过程参数。Crius 31x2有一个负载锁和低温进入室，允许在安全的大气中装载和运输样品。此外，装卸室还配备了一个烤箱，用于在引入之前对基材进行预处理。左右源均配有可移动屏蔽，用于逐区流量控制，允许对不同材料膜的通量进行独立控制。反应堆还包括一个垂直生长区和一个底物半导体支架，它提供精确的驱动和定位。基板支架能够将基板旋转至360度，从而实现均匀沉积和生长。温度控制是利用热壁和冷壁过程加热系统实现的，该系统可提供整个基板支架的温度均匀性。此外,CRIUS 31 X 2还配备了车载光学单元和光谱仪。光机用于监测生长过程，光谱仪则可用于分析薄膜质量及其能量带隙。AIXTRON Crius 31x2中也有一系列压力，范围介于30 mTorr和760 Torr之间。在安全性方面，AIXTRON CRIUS 31 X 2标配手动和可编程安全联锁，允许工具安全操作。此外,还包括远程监视资产,它允许在操作过程中实时显示模型状态。此功能进一步提高了设备的安全性,并提供了高级流程监控。总之，Crius 31x2反应堆是一个强大的外延生长系统，利用先进的工艺控制、负载锁定和基板持有者的能力，提供均匀的沉积和生长。其先进的光学单元和光谱仪可以对薄膜及其特性进行精确的分析。反应堆还包括安全联锁和远程监测，进一步提高了其安全性和可靠性。