二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587447 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种高性能的金属有机物气相外延（MOVPE）反应器，用于生长高质量的无机材料外延层。它配备了2英寸的MnPIII平台，设计用于在大面积上改善层均匀性。该系统非常适合生产需要在诸如发光二极管和其他电子设备等大面积上精确控制半导体层厚度的设备。AIXTRON CRIUS 31 X 2的高效生产效率和可重复性得益于一套全面的功能。这包括一种用于精确气体输送的类似栅格的歧管技术，它允许精确的气体控制，在较大的区域上精确的层厚和均匀性。另外，两个直流直流源，一个中频高功率源，和一个高磁线圈，提供精确的控制和重现的生长条件。反应堆可以以安全稳定的方式运行，温度和压力范围很广。均质反应器室的设计旨在确保在大型基板沉积过程中良好的均质控制，并通过原位热映射对整个晶片进行精确的温度控制。此外，直接基板加热系统确保整个基板区域的温度均匀。Crius 31x2采用先进的用户友好图形用户界面（GUI）设计,可实现繁琐的手动任务自动化。它还允许用户在增长过程中监视和手动调整机器状态，以获得最佳结果。用户友好的GUI优化了流程配方和数据收集,以实现快速实验和流程调整。CRIUS 31 X 2被设计为灵敏设备制造中最可靠、最高效的系统之一,可提供终极的过程控制和可重现的质量结果。它是工业和研究应用的理想系统，因为它为大面积的各种装置提供稳定、高性能的外延层沉积。