二手 AIXTRON Crius 31x2 #293587449 待售

AIXTRON Crius 31x2是为多种工业应用而设计的反应堆，包括半导体生产、溅射和薄膜沉积以及蚀刻工艺。AIXTRON CRIUS 31 X 2配备了创新的冷却技术，允许低热预算的工艺。反应堆配有两个独立的工艺室，这些室既可以电动操作，也可以用单一或双气体管线运行，以供应多种气体，或便利LPCVD和PECVD工艺。工艺室封装在不锈钢真空容器中，该容器配有初级门阀、两级真空设备、柔性气体控制系统和变速扩散泵。此外,Crius 31x2还配备了自己的高级油门监控（ATS）装置,可精确控制流程。该机器提供有关腔室温度、样品支架内部温度以及基板加热和冷却功率的详细反馈。CRIUS 31 X 2具有许多功能,使其成为许多用户的理想选择。例如，它采用了一种创新的高密度、多区质量数据工具，能够在晶圆逐个晶圆的基础上改变区域配置。无功等离子体源具有内置的淬火资产和调光器控制，可主动调节源功率，以适应不同过程的要求。AIXTRON Crius 31x2还具有均匀扫描仪、可编程提升销和索引器机构，以及大尺寸范围的感光器。总体而言，AIXTRON CRIUS 31 X2是一个可靠且用途广泛的反应堆。它有各种各样的特点，使得它适合一系列的应用和过程。其创新冷却技术允许低热预算过程，并为用户提供温度和基板加热和冷却功率的详细反馈。凭借这些优势，Crius 31x2是生产、溅射和蚀刻工艺的绝佳选择。