二手 AIXTRON Crius 31x2" #9186414 待售

AIXTRON Crius 31x2是为晶体生长应用而设计的下一代高功率反应堆。它是一个下游压板，水平的Czochralski型反应器，采用两区的坩埚加热工艺进行晶体生长。该反应堆利用高温计控制的加热剖面来调节660至2400 °C的炉温。这为包括半导体和光学材料在内的各种材料提供了精确的温度控制。Crius反应堆装有气体进气系统，可以方便地支撑各种惰性气体或工作气体。该系统允许根据需要对炉内晶体进行氧化或吸附。此外，反应堆带有受控的大气和氮气净化能力，使其适合任何生长环境。反应堆包括SCR控制电源，提供高频性能和低谐波失真，减少波纹和输入电压波动，有效电源保持在设定电压的0.5%以内。该反应器采用全合金材料，包括钢和不锈钢，设计时的热应力最小化，从而延长了使用寿命。Crius反应堆还具有非常低的热漂移和出色的稳定性，允许低温控制的应用。此外,Crius 31x2采用模块化设计,可通过提供监控访问端口和数据记录功能,轻松集成各种工艺工具,如原位气体分析仪、热成像系统和其他工艺监控工具。该反应堆具有可编程的坡道速率和自动调峰能力，保持精确的温度轮廓，保证晶体生长具有优异的均匀性和均匀性。Crius 31x2具有宽大的腔室尺寸,具有高材料吞吐量容量,非常适合高产量应用。反应堆包括± 3°C的腔室温度均匀性和± 0.2°C的温度稳定性，即使在改变材料载荷或气体流动时也是如此。它可靠、高效、用户友好,提供安全的晶体生长环境。