二手 AIXTRON Crius 31x2" #9186418 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种垂直、感应耦合的等离子体反应器，具有31x2英寸的腔室，适合广泛的工业应用。该设备可用于蚀刻、沉积和其他表面处理过程。它旨在成为那些希望从流程中获得高质量产品的人的强大而可靠的解决方桉。Crius 31x2系统提供了许多适合各种行业和应用的功能。它配备了先进的射频发生器、气体注入系统、精确的温度、压力和等离子体控制以及先进的晶圆运输单元。它还具有高级数据记录和报告功能,可帮助监控和优化制造过程。Crius 31x2具有坚固的腔室设计，允许处理大型晶片和更高的吞吐量速率。它配备了一个标准的8英寸敏感器，如果需要，可以针对更大的晶片进行升级。该机器非常适合需要高精度和重复性的过程，如陨石蚀刻和介电沉积。该工具使用了许多专门的工艺气体，从标准的蚀刻气体成分到电介质和贵金属。气体通过气动阀和多端口气体喷射系统注入腔室，允许精确的气体控制和计量。室内产生的低压等离子体使用特殊的射频发生器维持，允许精确的控制和优越的结果。Crius 31x2配备了先进的晶圆运输资产，可自动装卸腔室，有助于加快流程，减少体力劳动。它还配备了专门的压力控制模型，有助于将腔室压力保持在恒定水平，提高过程的可重复性。总体而言，AIXTRON Crius 31x2是一款功能强大、可靠的工具，旨在协助制造各行业的优质产品。它提供高精度、重复性、速度和控制,非常适合许多工业应用。