二手 AIXTRON Crius 31x2" #9350512 待售

AIXTRON Crius 31x2是由德国半导体加工专用设备制造商AIXTRON GmbH设计的反应堆。Crius 31x2是一种大功率的石英金属-有机气相外延（MOVPE）设备，用于生产先进的半导体和光电材料。它具有垂直和水平气流的特点，以便能够沉积大面积的基质。反应堆的特点是通量高，热梯度低，底物损伤低。Crius 31x2有两个相同的间歇反应堆，每个反应堆由一个石英生长室、两个独立的气体输送系统和一个石英基板架组成。生长室直径为22cm，长度为90 cm，能够加工两个直径达4英寸或3个6英寸的基板。生长室配有AIXTRON CDS500数字系统控制器、CDS600高级工艺控制器和Vital-View3x软件，能够精确控制MOVPE增长所需的参数。AIXTRON Crius 31x2为用户提供了比其他MOVPE系统高得多的高产高级材料沉积。它配有一个特殊的气体分配单元，在反应堆内保持极低的热梯度，减少表面和基板的损坏。AIXTRON Crius 31x2已成功用于生产高品质、高性能的复合半导体材料和光电器件，包括LED、激光、光电探测器和太阳能电池。该机还被用于电介质、金属、合金等薄膜的沉积。总体而言，AIXTRON Crius 31x2是一种先进可靠的MOVPE反应堆，为生产光电器件和其他先进材料提供了优异的性能。高吞吐量、低热梯度和低基板损坏的结合使用户能够生产高质量、高性能的材料。