二手 AIXTRON Crius 31x2" #9353185 待售

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製造商
AIXTRON
模型
Crius 31x2"
ID: 9353185
优质的: 2010
MOCVD System EBARA ESA70WD Pump A200 Scrubber 2010 vintage.
AIXTRON Crius 31x2是一种最先进的化学气相沉积(CVD)反应器,专门设计用于半导体材料的开发。这座先进的反应堆提供了业界无与伦比的自动化和灵活性的卓越组合。该反应堆基于AIXTRON开发的新型循环沉积沉积(CDD)方法,具有模块化设计,可实现广泛的功能。这种多用途的CVD反应堆包含复杂的反应物组合,从而实现了先进的加工能力。可用于光伏(PV)电池沉积、硅外延、薄膜晶体管生产等应用。Crius 31x2采用独特的腔室设计和结构,能够在各种基质上实现高效、均匀的沉积。其高性能沉积室能够承受高达1100 °C的温度和高达100 mbar的压力。这种坚固的框架可以极好地控制基板沉积速率和厚度均匀性。为了具有灵活性和易用性,反应堆还采用了自动基板装载装置。这种机制允许快速和精确地装载基板,而无需操作员手动操作腔室或基板。反应堆还包括用于记录过程参数和分析的数据收集接口。AIXTRON Crius 31x2是一个安全可靠的系统,内建有防止意外超压和高温操作的安全电路。它还包含一个强大的等离子体控制模块,以允许最大限度的控制和精度的等离子体处理。除了令人印象深刻的技术特性外,AIXTRON Crius 31x2极易使用。其用户友好的操作可实现生产级别的速度以及长期运行,而且维护最少。AIXTRON Crius 31x2凭借其高端功能和卓越性能的最佳组合,绝对能够满足任何希望打造非凡半导体器件的专业人士的需求。
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