二手 AIXTRON Crius 31x2" #9383394 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种商业规模的金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器。它是世界领先的垂直2英寸反应堆之一，能够生产单晶圆200毫米晶圆。该反应堆由半导体和电子工业先进设备的全球领先者AIXTRON制造。Crius 31x2具有分弧式感应线圈、圆形陶瓷crucible、固定双极射频发生器和锁载晶片处理系统。Crius 31x2所使用的感应技术为氮化物和氧化物的沉积提供了优越的均匀性。这种圆形陶瓷熔饼还为薄膜在单层和多层晶片上的均匀沉积提供了更高的热均匀性。Crius 31x2还配备了温度控制系统和计算机控制。此特性可实现精确的温度控制,从而确保最佳的均匀性和沉积结果。该反应堆的压力控制特性也允许提高产量和减少浪费。此外，反应堆具有高度的自动化，这有助于简化操作过程并实现更快、更精确的晶圆制造。Crius 31x2由高级不锈钢製成，使其具有很高的耐腐蚀性和其他类型的环境危害。此外，反应堆还具有出色的隔热性能，可降低能耗和提高效率。Crius 31x2还配备了尖端的安全功能，确保反应堆对操作管理人员及周围环境安全。它设有电处理保护门，以防止任何设备损坏，并保证人员的安全。此外,Crius 31x2还设计用于提供具有较长进程运行时间的广泛应用程序。对于较厚的材料采用较高的沉积率是最有效的，从而实现了更高效的制造工艺。此外，反应堆还配备了很好的工具检查能力，从而减少了停机时间，减少了诊断和解决技术问题的时间。总体而言，AIXTRON Crius 31x2是一种先进的金属有机化学气相沉积反应器，为单层和多层晶片上的薄膜和厚膜制造提供了多种优势。其先进的技术、卓越的统一性、先进的安全特性和自动化简化了制造过程，提高了生产率和产量。