二手 AIXTRON Crius 31x2" #9390892 待售

AIXTRON Crius 31x2是为高级半导体研究而设计的最先进的分子束外延（MBE）反应器。具有三室设计、反应性气源、高性能RF/DC电源和原位诊断系统，提供卓越的工艺控制和表层质量。Crius 31x2有三个室：一个生长室、一个锁载室和一个蚀刻室。容纳基质和射频源的生长室有3000立方厘米的最大容积，允许更大的材料沉积。该锁载室用于样品装载，并为加工室提供样品。该蚀刻室用于样品的蚀刻速率和进一步的样品清洗。Crius 31x2的综合反应气源为限源去除和材料生长提供了高反应性气体。内置的高性能RF/DC电源可调节输出,输出功率高达500瓦,可提供过程均匀性和高epi层质量。原位诊断系统，如椭圆仪、STEM、LEED和RHEED，可以对基板、表层和样品表征进行在线监测，大大改善了工艺控制。Crius 31x2能够产生具有从III-V、IV/II-VI到单晶形式宽带隙材料的各种原理层的表层。它在超高真空条件下运作，以促进原始材料的生长。它还配备了各种技术，如锌播种、退火和夹层，以进一步提升表层质量。Crius 31x2是一种前沿的MBE反应堆，设计时考虑到了卓越的工艺控制和表层质量。它能够从III-V、IV/II-VI和宽带隙材料中产生多种epi层,具有卓越的均匀性、质量和可重复性。是消费电子、汽车、电信等各行业先进半导体研究的宝贵工具。