二手 AIXTRON Crius I #293586746 待售

AIXTRON Crius I是设计用于薄膜沉积的高通量外延反应器。该反应器配有一个电感耦合等离子体源，该等离子体源提供用于底物蚀刻的氧离子束，以及一个电子回旋共振（ECR）等离子体源，产生用于层生长的高密度等离子体。Crius I的设计允许更大的工艺窗口和提高薄膜的均匀性。AIXTRON Crius I反应堆为用户提供高性能薄膜沉积，用于各种底物和材料。Crius I灵活的工艺窗口和高通量使用户可以容纳具有挑战性的基板和材料，如太阳能电池、LED和半导体。AIXTRON Crius I先进的等离子体来源和卓越的材料均匀性提供了卓越的薄膜质量。Crius I有一个loadlock设备，允许用户快速加载和卸载晶片。晶片通过超高真空和氮气暴露在它们的环境中，使得在工艺室内保持高质量的真空成为可能。此外，5英寸分段线圈允许等离子体和蚀刻光束的精确定位，提供均匀的薄膜。此外,AIXTRON Crius I还配备了高分辨率端点检测系统,以确保精确的端点和改进的层均匀性。这个先进的单元为用户提供了可靠和可重复的结果。此外，Crius I有一个内置的自我诊断机器，允许快速故障排除，并允许用户轻松检查反应堆的状态。总体而言，AIXTRON Crius I是一种强大可靠的薄膜沉积工具。凭借其高性能等离子体源、卓越的薄膜质量以及可靠的端点检测资产，Crius I为用户提供了灵活的工艺窗口和卓越的均匀性。