二手 AIXTRON Crius I #293661393 待售
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AIXTRON Crius I是一种沉积反应器，设计用于薄膜涂层的高通量加工。它具有一个大型反应室，可处理多达35 cm^2晶圆，并提供高达1500 °C的大操作范围。Crius I包含一系列高级功能,可精确控制沉积过程。具有高效的气流设备和较低的背景压力，可提高沉积质量。此外，它还设有一个车载气体制备装置，以便于使用反应性气体溷合物。该系统还包括AIXTRON独一无二的AutoFeedTM自动晶片处理单元，可用于在不打开反应堆门的情况下自动将多达二十个晶片送入腔室。AIXTRON Crius I的反应室配备了先进的元件控制器，提供对温度、微压、气流和射频功率的精确控制。它还具有高效、直接加热、陶瓷涂层、热墙感应器设计。这使得热壁的快速响应能够在高温下有效的沉积生长。此外，Crius I包括一个水平淋浴头，确保在整个晶片表面均匀沉积。AIXTRON Crius I有多种配置,在腔室大小、工艺温度和基板处理方面各不相同。该机还被设计为与多种材料兼容。这使得它适合于广泛的薄膜沉积过程，包括氧化物、氮化物和硅的沉积。此外，强大的控制工具及其集成的安全功能确保了安全可靠的操作和过程可重复性。总体而言,Crius I是一个强大的沉积反应器,它提供了许多先进的特性和强大的沉积过程控制-所有这些都使其成为高通量薄膜沉积应用的理想解决方桉。
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