二手 AIXTRON Crius I #9065475 待售

AIXTRON Crius I是一个商业规模，感应耦合等离子体（ICP）反应堆。该反应堆在底物均匀性和高蚀刻速率方面提供了一流的性能，是提高生产规模的理想选择。其紧凑的占地面积和较低的总拥有成本使其能够高度配置,以满足一系列特定于应用程序的需求。Crius我有一个简单的模块化结构。圆柱形腔室和端环由不锈钢制成，并具有水冷套，可实现高达1000 °C的稳定运行温度。基板支架由石墨制成，面积平坦，可容纳直径不超过100毫米的大型基板。射频发生器为反应堆的感应线圈提供动力，以产生必要的ICP等离子体，并连接到控制器，以确保对等离子体参数的精确控制。AIXTRON Crius I采用高速数字技术实现高度均匀的等离子体沉积。其先进的Showerhead RF Bias Control允许将各种物种均匀沉积到基质上以获得最佳工艺。它还具有高速端环射频偏置控制，以确保金属种类在腔壁上的均匀分布，从而提高蚀刻均匀性。Crius I还提供了广泛的安全功能,例如阻止火焰传播到其他组件的火焰避雷器,以及集成的火花检测和控制单元。它有一个简单而可靠的结构，设计成在高温下长期连续运行，非常适合高产、大批量运行。总体而言，AIXTRON Crius I是一个先进的、商业规模的ICP反应堆，提供无与伦比的性能、紧凑的占地面积和较低的总拥有成本。它是在大批量应用中提高生产规模和提高产量的理想选择。