二手 AIXTRON Crius I #9188566 待售

AIXTRON Crius I是一种先进的外延反应堆，设计用于半导体和光电器件的开发和制造。该反应堆采用了AIXTRON旗舰金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术，该技术已经精炼了二十多年。Crius I是一种单晶片、批处理工具,专为高吞吐量和易于扩展而设计。AIXTRON Crius I是一个垂直的多管反应堆，最大管子转速为12,000rpm，有一个十四位卡式装卸站。反应室装有13°斜角的AIXTRON签名低振动梁（SLV Beam）。这为正在加工的晶片提供了均匀、精细的表面光洁度，从而显着降低了盘状晶片边缘。此外,Crius I还配备了一个热墙感应器,能够在高达1100°C的温度下运行,具有出色的控制和精度。AIXTRON Crius I是一个可扩展的系统，能够广泛的加工化学和掺杂气体化学。它能够适应低容量和大容量生产,并提供独立和群集配置。FlexMode允许客户在两个程序之间快速修改刀具反应堆腔室参数，对工艺配方进行中间更改，而无需进行冗长的干预。Crius I使用专有的过程控制软件（Turbo SoftTune），实现简化的菜单驱动操作。Intelligent Adaptive Control （IAC）通过主动参数检测和修改进一步提高了这一点,旨在磨练给定应用程序的正确操作参数。它也可以重新安装AIXTRON炉技术，允许晶体生长和器件制造的垂直整合。综上所述，AIXTRON Crius I外延反应堆是开发制造半导体和光电器件的先进资源。它提供了高吞吐量、低振动梁和热壁磁感器技术,为精细的工艺提供了复杂的控制。先进的过程控制系统、可扩展的体系结构和灵活的操作模式使其成为可靠的家族资源。