二手 AIXTRON Crius II #293607523 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 293607523
优质的: 2010
MOCVD System
Chamber, 2"
Source: TMGa-1, TMGa-3, TEGa2, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, (7) TMAl-1
(4) Wires with groung wiring
ARGUS Temperature monitor
Hydride lines: NH3-1 / NH3-2 / SiH4
GaN Gouve
(2) RAUDA RE235 Baths
(4) NOAH Precision baths
HORIBA MFC Type
AFFINITY Chiller
Power supply: 208 / 120 V AC, 3-Phase
Heater voltage: 380 V AC, 3-Phase
Does not include (2) Scroll pumps
2010 vintage.
AIXTRON Crius II是AIXTRON公司的反应堆,专门为研发先进半导体和LED而设计。Crius II是三个模组的序列--双基底MOCVD、单晶圆淋浴头和Gleeble Simulator,让使用者能够对其生长和沉积方法做出准确的测量。双基体MOCVD反应器是一种允许使用者利用分子束外延(MBE)和金属有机化学气相沉积(MOCVD)的设备。该系统采用可编程阀门和一系列真空泵,以创造更高的增长率,降低成本并提高效率。该反应堆能够以三种方式进行外延生长:MBE、MOCVD和高压压辅助外延生长。反应堆也可配置最多八个单层、多层和3D结构的源。Single Wafer Showerhead允许用户在晶圆级别沉积高质量的材料层,在wi40afer更新和基板更改之间至少有一段停机时间。获得专利的旋转圆盘允许整个晶片均匀沉积,无需人工干预。Gleeble Simulator还为用户提供了模拟温度曲线和热过程的能力,并增加了自动关闭异常过程的好处。该模拟器配备了一个压力单元,用户可以控制处理气氛和监测机器内的事件。AIXTRON Crius II平台是开发先进半导体和LED的多功能强大工具。它已成为半导体行业内的标准工具,被广泛的研究、开发和生产应用中使用。反应堆可靠、成本效益高,为用户提供了高度的灵活性。
还没有评论