二手 AIXTRON Crius II #293659969 待售
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ID: 293659969
晶圆大小: 2"-6"
优质的: 2010
System, 2"-6"
EDWARDS IXH645H
AFFINITY EWE-08CH-ED44CBD0
Missing parts:
MKS Pressure
THERMO LAUDA RM6S bath
(2) THERMO LAUDA RM25S baths
LAUDA WKL 230/E Chiller
PTS0310 Scroll pump
2010 vintage.
AIXTRON Crius II是一个水平、单晶片批处理反应堆，最大沉积面积可达300 mm。专为大批量制造而设计,可提供高吞吐量、均匀性和反应性材料利用率。Crius II最多使用三个气源，根据应用情况，使用两个高能粒子（电子或离子）来源来生长III-V材料。该设备设计用于过程稳定性，具有集成的挥发性气体分布控制、自动气体分析以及用于原位温度控制的光学高温计。它有一个用于反应性气体供应的密封室，有一个用于等离子体控制的标准感应耦合等离子体（ICP）源。AIXTRON Crius II利用等离子体蒸气沉积（PVD）工艺,以及可选的溷合PECVD工艺,用于更广泛的应用。该系统具有一个流动控制单元，用于输送反应性气体以及在工艺室内进行真空控制。这提供了更高的精度和反应物和杂质水平的控制，以及更好的温度均匀性。预测模型在过程的所有阶段都提供配方控制。集成测量气体分析机可以在每个步骤主动控制过程参数。反应堆最多可处理三个高能粒子来源（电子或离子），并提供机会利用它们在不同应用中的协同作用。该工具配备了先进的安全功能，包括集成气体和真空泄漏检测以及三层安全互锁。Crius II专为工业化而设计,提供大批量、快速的工艺稳定性和均匀性。适用于生产优质、低成本的半导体和光子产品。AIXTRON Crius II以其高效、优化的工艺控制和自动化，是生产光电和纳米光子器件的绝佳选择。
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