二手 AIXTRON Crius II #293660321 待售
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ID: 293660321
晶圆大小: 2"-6"
优质的: 2011
System, 2"-6"
AFFINITY EWE-08CH-ED44CBD0
EDWARDS IXH645H
Missing parts:
MKS Pressure
THERMO LAUDA RM6S bath
THERMO LAUDA RM25S bath
LAUDA WKL 230/E Chiller
HORIBA MFC 100 SLM
2011 vintage.
AIXTRON Crius II是一种台式、非分子束外延（MBE）反应器，设计用于沉积III类氮化物薄膜。它能够生产这些材料的高质量薄膜，用于异质结应用，如蓝光发光二极管（LED）和激光二极管（LD）。Crius II支持金属有机化学气相沉积（MOCVD）和分子束外延（MBE）。反应堆的炉子部分能够提供高达1250 °C的温度。反应器的设计保证了整个外延生长室的均匀条件。AIXTRON Crius II配备了多种功能，以支持易于使用和稳定沉积。它配备了多种加热技术（感应、直接和RTA）和冷却系统，以保持温度均匀性。有气体输送设备供应C2H4、NH3和A流，流量可达80 sccm。还有一种石墨丝支持任何材料的热蒸发，以及另一种用于InGaAs的热蒸发（如果需要）。Crius II有一个锁载真空系统，可以将生长室从锁载室疏散到低压。锁载室还设有耐磨窗口，以保护锁载室免受生长室高温的影响。反应堆还设有涡轮分子泵，支持高达10-8 torr的高真空运行。反应堆的自动化软件一次最多可支持20个单独编程的沉积参数。这使得AIXTRON Crius II成为MBE和MOCVD沉积的高度通用和可靠的单元。此外，原位He压力和热剖面仪测量沉积层的质量。总之，Crius II是一种先进的台式MBE/MOCVD反应堆，能够为III类氮化物薄膜在广泛应用中的生长提供统一条件。反应堆配备了几个使沉积更容易使用和提高质量的特点，如自动化软件、多个热源以及严密的真空控制。这使得它成为一个理想的设备，以沉积在蓝色LED和激光二极管有用的高质量薄膜。
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