二手 AIXTRON Crius II #293823200 待售

AIXTRON Crius II Industrial MOCVD Reactor是一种可靠、尖端的沉积工具，设计用于先进的外延生长，非常适合复合半导体材料的制造。这种模块化的金属有机物-化学-气相沉积（MOCVD）设备由于其更新的设计和一系列功能,提供了无与伦比的性能、可靠性和工艺一致性。Crius II反应堆拥有2 x 2x2英寸的最大晶圆尺寸容量、石英室的自动预处理（APC）以及精确的工艺监测。它具有一系列先进的工艺控制特点，包括开环用户定义的预处理器，对气体前体分布的闭环主动控制，以及对反应堆室内的压力、温度和臭氧（O3）溷合物的主动监测。该系统还提供了可选的增强设备均匀性（EDUF）模式，以帮助优化前体分布和提高基板上的均匀性。AIXTRON Crius II反应堆利用定制的AIXTRON排气单元，以尽可能小的足迹产生更高的排气流量。另外，高分辨率光学高温计有助于测量反应室温度到摄氏十分之一度以内。这有助于为一致的流程性能提供高度可重复的环境。Crius II反应堆非常适合于多种生产工艺，如金属有机CVD、沉积硅的和其他化合物半导体材料，以及LED晶片的生产。即使在连续生产中使用,它也是针对质量和性能恒定的最高晶圆吞吐量进行优化的。在其强大的设计背后，AIXTRON Crius II反应堆还拥有一个操作员友好的图形用户界面，具有几个用户友好的选项和功能。总之，Crius II是一种可靠、尖端的工业MOCVD反应器，设计用于复合半导体材料的最大外延生长，具有无与伦比的工艺控制和性能。对于任何需要可靠的生产平台并提供多种选择的设备,本机都是理想的选择。