二手 AIXTRON Crius II #9395952 待售

AIXTRON Crius II是一种低压化学气相沉积（CVD）反应堆，经过专门设计，用途广泛，成本效益高。针对先进的半导体器件制造商，快速准确地生产出均匀性极好的优质薄膜。反应堆是完全自动化的，便于使用。它利用了一个独特的源分布网络,该网络允许最佳的源定位,从而确保整个生长表面都能平等地获得源材料。大的温度范围使得它适合多种应用。Crius II由固体铝和不锈钢部件构成，由密封和轴承表面密封。这使得它具有很高的可靠性和耐用性,并有助于最大程度地减少破损问题。它还具有主动热监测和高热导率，使用户能够完全控制温度和压力。AIXTRON Crius II有一个自动化的腔室进料和源分配系统，确保反应腔内均匀的质量流动。一个整体的粗加工泵连接到隔膜泵，有助于保持室内清洁和无颗粒和污染物。这对于保持高质量的胶片和产量均匀性至关重要。此外，Crius II还包括一个热线质量流控制器和一个真空计端口。热线质量流控制器可以精确测量反应物流量，更容易控制沉积过程。该端口允许快速检测反应室内的真空。AIXTRON Crius II还包含一些安全功能，如超压保护系统、自动故障关闭功能和紧急疏散阀。总之，Crius II是一种先进的CVD反应器，非常适合生产具有均匀性和出色再现性的优质薄膜。其可靠耐用的构造、自动化功能、主动热监测系统、坚固的安全特性和高温范围，使其对先进的半导体器件制造商更具吸引力。