二手 AIXTRON Crius II #9402490 待售

AIXTRON Crius II反应堆是一种高精度的台式沉积工具，用于原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）。主要用于薄膜沉积应用。它设计用于以微电子、光电子、储磁、储能和生物医学等多种技术可靠、精确和可重复地形成各种临界界面层和薄膜。Crius II是一个完全自动化的系统,提供精确、可重复的过程控制。AIXTRON Crius II基于现场验证的模块化设计,可轻松集成不同的沉积模块。它还包括各种先进的特性，如样品旋转和水平基板支撑、蒸发前和样品加热、电动快门，以及在复杂层沉积过程中同时进行源共沉积的共沉积选项。Crius II的沉积模块配备了一个Moseley源持有者，允许单一或多个基质源构型和源介导的多种前体或反应物的共沉积。Moseley源支架的设计采用了有助于胶片沉积均匀性和均匀性的摇摆运动。AIXTRON Crius II还包括高精度样品加热器、快门和加热快门设置。样品加热器采用真空密封、空腔后置设计。它提供快速的样品温度控制和精确、可重复的温度。加热的快门可实现无场、精确的并发沉积和共沉积，以及底物到背面蒸发的温度控制。Crius II是纳米层薄膜沉积的强大工具。它可以实现精确、可重复的涂层,从而实现具有精确确定的相位和界面边界的经过实验验证的结构。AIXTRON Crius II能够对各种沉积过程进行广泛的参数调整，以实现最佳工艺控制。它是用于研究、开发和生产应用的强大、详尽的工具。