二手 AIXTRON Crius-R #9260376 待售

AIXTRON Crius-R是AIXTRON为生产高纯度复合半导体而设计开发的一种外延反应器。这些半导体包括了各种砷化氙（GaAs）、磷化铵（InP）和砷化铝的的的、（AlGaAs）。反应堆允许广泛的生长参数，并设计用于生产规模和研究级的应用。Crius-R外延反应器不使用内部敏感器，这使得它更适合生产高质量的外延层。它还不需要在增长过程前后预热或冷却时间,从而实现了大量生产的高吞吐量。此外，由于反应堆的高效设计，它提供了高度的过程重复性和重复性。AIXTRON Crius-R外延反应器配有独特的石英晶体微平衡（QCM）传感器，可用于外延层端点检测。这种改进的端点检测允许改进对生长过程的控制,从而提高生长层的质量。Crius-R还具有创新的气体入口和独立控制功能，这对于产生所需的外延层至关重要。此外，反应堆还提供了一个集成的冷却模块，大大降低了生长温度，显着提高了底物的使用寿命。AIXTRON Crius-R外延反应堆具有多种集成的安全特性，以降低运行过程中发生危险情况的风险。反应堆还包括各种监测生长过程的诊断，以确保高质量的结果。总之，Crius-R外延反应堆是为生产规模和研究级应用而设计的，为研究人员和工程师提供了开发和制造高纯度复合半导体的高效可靠工具。其集成的安全特性和QC传感器提供了对外延过程的最大控制，实现了高水平的可重复性和可重复性。