二手 AIXTRON Crius #9302163 待售

AIXTRON Crius是一种用于生产半导体的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）反应器。它以较大的加工室尺寸而闻名，允许大基板一次处理。这有助于缩短生产时间,最终提高产品的效率和吞吐量。反应堆采用多室架构建造，允许几种不同的底物以不同的参数同时处理。腔室尺寸足够大，可以容纳多个200 mm或150 mm基板，以及其他几个较小的基板。Crius配备了最先进的射频源技术，用于制造能产生反应的等离子体。射频源有一个14容量的双频电源,总输出功率为10 KW。AIXTRON Crius还具有多种工艺气体输送配置，包括双歧管气体喷射器和向沉积区供应环境气体。此外，反应堆具有先进的反馈控制系统，以确保输出一致和优化运行参数。Crius还提供出色的温度均匀性、机械稳定性和真空系统功能。在任何情况下,它都能够将温度保持在所有工艺室的设定值的40°C以内。此外，反应堆还配备了主动室高度调节，以考虑不同的基板尺寸，从而使过程均匀性保持一致。AIXTRON Crius还有一个无油液氮泵使它的真空高达5倍10⁻⁸毫巴。总体而言,Crius是一种可靠的半导体制造工具,提供多功能的处理功能、先进的反馈控制系统、出色的温度均匀性和机械稳定性,以及能够达到5 x 10⁻⁸ mbar的真空系统。其较大的加工室尺寸允许大基板一次处理，确保吞吐量增加。