二手 AIXTRON G4 #293592747 待售
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AIXTRON G4反应堆是一种生产率高、用于生产半导体和其他微电子材料的闭环水平反应堆。这类反应堆广泛用于制造GaAs、GaN和AlN材料。其设计效率极高,易于调整,为外延层的生长提供了最佳条件。与竞争反应堆相比,AIXTRON G4具有更高的热清洁度,可以更好地控制沉积条件并提高可重复性。G4的低运行温度使其高效,总生产时间显着缩短。反应堆的可靠性和坚固的设计使其能够长期持续使用,从而消除了停机时间并降低了维护成本。G4的可移动摆臂可实现均匀的腔室运动和出色的角度均匀性。这样就缩短了循环时间,产生了高产率、出色的步长覆盖范围和对晶圆失真的敏感性。AIXTRON G4最多可容纳两个基板支架,其起重设备便于基板操作。AIXTRON G 4集成了高级自动化功能,可用于趋势跟踪、警报、过程诊断和反馈功能,从而确保平稳运行生产过程。强大的联网PC控制系统轻松简化了在线和离线模式对各种应用程序的控制和分析。这使得G4设备非常适合生产设备类型和研发应用。此外,G4的智能气体输送机能够实现精确的气体流动和低流量脉动。这样可以确保准确和均匀的发射极/集电极间距,从而支持改进的电流流动。此外,AIXTRON G4包括一个单一的晶圆均匀性监视器,可以用来检测潜在的问题之前,他们成为关键。综上所述,AIXTRON G4反应器是制造先进微电子技术的理想解决方桉。它易于调节,可靠性高,提供出色的热清洁和自动化控制。G4具有较低的工作温度和优异的均匀性,可提供高质量、高产量和最小化总生产时间的材料。
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