二手 AIXTRON G4 #9181339 待售

AIXTRON G4是一种自动化和通用的生产级MOCVD反应堆，能够为各种应用高效和可靠地生产光电器件。AIXTRON G4旨在以高精度、精确度和重复性执行外延增长过程。反应堆具有强大的电动机，可提供精确生长过程所需的高速、连续运动。反应堆还包括一个感应加热的石英冷壁和钨卤素灯，用于在整个工艺室内产生均匀的热加热。G4使用高级配方编辑器,使用户在增长过程中具有充分的灵活性。该软件使用户能够配置和准确控制气流、烤箱温度、气体截止和沉积步骤的时间安排。该软件还提供先进的安全功能，例如基于数量的关闭，以防止过度沉积和气体溷合物问题。此外，G4采用局部温度传感器进行温度反馈控制，确保在整个过程中对生长参数进行准确控制。AIXTRON G4配置了直径25厘米、生长表面6厘米的加工室。AIXTRON G4反应堆提供了一个坚固的设计方便维护和清洁长期实验。该设备还提供了真空远程视图系统，用户无需打开设备即可检查基板的位置和生长结果。这有助于提高生产效率和安全性。G4旨在促进III-V材料的生长，如砷化铝的（AlGaAs）活性层、多层结构以及其他化合物半导体材料。它特别适合制造激光、光电探测器等高性能光电器件。由于该机设计方便地将其他工艺室互连以进行直列生产，因此适合以负担得起的成本批量生产设备。