二手 AIXTRON G4 #9382363 待售

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製造商
AIXTRON
模型
G4
ID: 9382363
优质的: 2011
MOCVD Systems Type: GaN 42 x 2", 11 x 4", 6 x 6" LUXTROM TR200 Measuring system included 2011 vintage.
AIXTRON G4是专为提高微波等离子体增强型化学气相沉积(MPCVD)系统性能而设计的最先进的反应堆。AIXTRON G4因其集成的过程控制、长时间的沉积运行和可重复的沉积结果而在其他反应堆中脱颖而出。它还有一个专利设计,有一个实验室级的旋转汽缸室和一个绝缘的六角形空腔。该反应堆既适用于原型生产,也适用于中高批量生产。G4利用微波能量创造出等离子体,使薄膜、层和层的精密沉积成为可能。它使用具有多源特性的电子枪,允许对气体溷合物和不同层的压力进行独立控制。气体溷合物既可以是反应性的,也可以是惰性的,并且可以被精确监测,从而可以错综复杂地控制生长膜。G 4还配备了压力传感器和外部操作的气体控制系统。这样可以进行温度管理和更好地控制等离子体工艺参数。它还配备了效率高两倍的真空系统,允许长时间的沉积运行,可重复结果。其核心工艺能力包括精确的薄膜厚度和出色的化学计量。它还具有高品质的薄膜、优越的电子迁移率和出色的增长率,除了能够产生具有其他系统难以实现的性质和成分的薄膜。AIXTRON G4还在监控能力方面表现出色,具有等离子体参数的实时在线监控以及数据记录功能。这样可以方便地存档和检索数据和信息。总之,AIXTRON G4是一种先进、用途广泛、可靠的反应堆,可以大大提高MPCVD系统的性能。其专利设计、高质量的薄膜、温度控制和长时间的沉积运行,使其成为从纳米技术到半导体制造等应用的理想原型和生产用途。
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